Описание на продуктите
В авангардно-област на производството на полупроводници керамичните камерни вложки от двуалуминиев оксид служат като облицовка и основни консумативи за камери с критични процеси. Със своите изключителни свойства на материала те осигуряват стабилна, чиста и издръжлива реакционна среда за основни процеси като ецване на чипове, отлагане на тънък-слой (CVD/PVD) и йонна имплантация. Тяхната производителност пряко влияе върху прецизността на процеса, производствения добив и оперативните разходи на оборудването.
Производителност на продукта
- Изключителна устойчивост на плазмена корозия: По време на процеси на ецване и CVD, камерите се пълнят с високо-енергийна, силно реактивна плазма (напр. на базата на флуор- или хлор-). Високо{6}}чистата алуминиева керамика показва изключителна химическа инертност, като ефективно издържа на бомбардиране и химическа ерозия от такива плазми.
- Изключителна чистота и ниско замърсяване: Високата чистота на 99,9% алуминиева керамика-и дори 99,99% алуминиева керамика-осигурява минимално освобождаване на метални йони (напр. Na, K, Fe) или други примеси при висока-температура и плазмени условия.
- Превъзходна висока{0}}температурна стабилност и ниска степен на отделяне на газове: Устойчивата на висока-температура-алуминиева керамика поддържа дългосрочна-стабилност при 1600 градуса. Техният сравнително нисък коефициент на топлинно разширение води до минимална деформация по време на повтарящи се топлинни цикли.
- Изключителна механична якост и твърдост: Въпреки че е керамична, високо{0}}чистата алуминиева керамика показва изключителна якост на огъване и твърдост (твърдост по Моос 9, втора след диаманта). Издържа на механични натоварвания и монтажни натоварвания, осигурявайки структурната цялост на камерата.
- Отлични изолационни свойства: Като превъзходен електрически изолатор, той ефективно изолира плазмата от метални кухини, подпомагайки прецизния контрол на морфологията и разпределението на плазмата.
- Устойчивост на термичен удар: Чрез оптимизирани състави на материала и микроструктурен контрол, съвременната структурна керамика от алуминиев оксид показва повишена устойчивост на термичен удар, което им позволява да издържат на бързи температурни колебания по време на обработка и намалява риска от напукване.
Приложение на продукта
- Защита на основната камера: Предотвратява директното отлагане на страничните продукти от реакцията, генерирани по време на процеса (ако са филмови материали и частици от странични продукти), върху скъпите и трудни{0}}за-почистване постоянни стени на камерата и критичните компоненти, като значително удължава експлоатационния живот на основното оборудване и намалява разходите за поддръжка.
- Поддържайте чистотата на процеса: Намалете източниците на частици в камерата чрез улавяне на замърсители и странични продукти. Когато повърхностите на вложките станат прекомерно удебелени или силно замърсени, те могат да бъдат директно заменени, бързо възстановявайки чистотата на камерата и запазвайки добива на продукта.
- Оптимизиране на производителността на процеса: Определени вложки (ако са газоразпределителни плочи) участват директно в процеса, осигурявайки равномерно разпределение на реакционните газове в камерата. Това гарантира еднаквост при отлагането на филма или ецването.
контрол на качеството
Ние се придържаме стриктно към системата за управление на качеството ISO 9001, за да гарантираме постоянно качество на продукта:
- 100% проверка на суровините, за да се гарантира качество от източника;
- Използване на усъвършенствани производствени линии-за горещо пресоване за прецизни и надеждни процеси;
- -Вътрешни тестове за ефективност, включително анализ на плътност, твърдост и микроструктура;
- Притежаване на-официални сертификати от трети страни (като SGS, CE, ROHS, налични при поискване).
Сертификати и отличия
Компанията е призната за национално високо{0}}технологично предприятие и е водещ проект за таланти в „Земята на изтъкнатите учени“ в град Шаоксинг. Нашият изключителен екип за научноизследователска и развойна дейност се състои от професори и докторанти, специализирани в модерни керамични материали и компоненти, включително силициев карбид, силициев карбид с висока-чистота, борен карбид, диамантен силициев карбид, итриев оксид, алуминиев оксид и алуминиев нитрид. Подали сме над 30 китайски патента. Ние притежаваме усъвършенствани технологични процеси, усвоявайки техники като синтероване, формоване, шлайфане, CNC обработка, лазерно пробиване, прилепване и полиране. Персонализираме всички видове керамични продукти според изискванията на клиента.
фабрична здравина
Нашите дигитални работилници, интелигентна фабрика и-системи за събиране на данни в реално време се възползват от принципите на икономично производство, за да минимизират отпадъците и да увеличат максимално ефективността на ресурсите. Чрез включването на технология за обработка с ЦПУ, технология за индустриален интернет на нещата (IIoT) и автоматизирани системи за управление, ние постигаме безпроблемна свързаност и съвместна работа между производственото оборудване, като по този начин максимизираме производствените спестявания.
Популярни тагове: камерна вложка, камерна вложка производители, доставчици, фабрика
