Полупроводников керамичен пръстен

Описание на продуктите В областта на производството на полупроводникови чипове всеки малък компонент е свързан с производителността и качеството на крайния продукт. Полупроводниковият керамичен пръстен е ключов компонент, използван в оборудването за производство на полупроводници, използван главно за фиксиране и поддържане на вафли, за да се гарантира...

Изпрати запитване

Чат сега

Керамична купа от алуминиев нитрид

Керамичен пръстен от алуминиев нитрид

Описание

Описание на продуктите

Полупроводниковият керамичен пръстен е високо{0}}производителен специален керамичен компонент, използван в критични етапи от производствените процеси на полупроводници. Обикновено се прави от прецизни керамични материали с висока-чистота, висока-плътност и има кръгла пръстеновидна структура. Той служи като ключова консумативна част в реакционните камери на полупроводниково оборудване, използвано за процеси като дифузия, окисление, химическо отлагане на пари (CVD) и ецване.

Неговите основни функции включват поддържане на силициеви пластини (или образуване на специфична газова среда за процес и равномерни полета на потока), като издържа на екстремни работни условия-включително високи температури, силно корозивни газове, плазмено бомбардиране и бърз топлинен цикъл. Следователно неговата производителност пряко влияе върху стабилността на процеса, еднородността, контрола на замърсяването с частици и в крайна сметка добива на крайния чип продукт.

Semiconductor Ceramic Rings

подробности за продукта

Име на продукта	Полупроводников керамичен пръстен
Цвят	Персонализирани според изискванията на клиента
размер	Персонализирани според изискванията на клиента
Опаковка	Кашон / палет / дървена кутия (Според изискването на клиента)
Време за доставка	Стандартен продукт-В рамките на 3 дни
Дизайн на артикули	По чертеж или мостри на клиента
Характеристики	Добро качество, ниска цена, множество фабрики, доставка до вас въз основа на тази, която е най-близо до вашето местоположение
Приложение	Индустриална керамика
Сертификат	ISO, CE

Ключови експлоатационни характеристики

Материал с висока чистота

Изборът на високо{0}}чисти керамични суровини ефективно намалява намесата на примесите в производствения процес на полупроводници. Полупроводниковите керамични пръстени обикновено се изработват от керамични материали с висока -чистота, като алуминиев оксид, силициев нитрид и др. Те имат изключително висока твърдост и могат да издържат на механични натоварвания по време на обработка, като ефективно гарантират степента на добив и стабилността на работата на чипа.

Отлична устойчивост на високи температури

В сложния процес на производство на полупроводници много ключови етапи на процеса, като дифузия и отгряване, трябва да се извършват в среда с тежки високи-температури. Полупроводниковият керамичен пръстен демонстрира изключителна производителност в това отношение и може да издържи на високи температури от стотици или дори хиляди градуси. Дори при такива условия на екстремни високи температури, полупроводниковият керамичен пръстен все още може стабилно да поддържа добра механична якост и структурна цялост. Освен това, независимо от бързите промени на висока или ниска температура, полупроводниковият керамичен пръстен няма да покаже никакви неблагоприятни условия като деформация, напукване или омекване. Това осигурява-солидна и надеждна подкрепа за гладкото напредване на високо{6}}температурните процеси в производството на полупроводници, значително подобрявайки качеството и добива на чипове.

Отлична химическа стабилност

Полупроводниковите керамични пръстени имат отлична химическа стабилност, отлична устойчивост на корозия към различни химикали и могат да останат стабилни в тежки производствени среди, гарантирайки чистотата и надеждността на процеса на производство на чипове.

Прецизен контрол на размера

Производственият процес на полупроводникови керамични пръстени може да постигне изключително висока точност на размерите. Параметрите на полупроводниковия керамичен пръстен като вътрешен диаметър, външен диаметър, дебелина и плоскост на повърхността могат да бъдат прецизно контролирани в изключително малки допуски. В оборудването за производство на чипове тази прецизна адаптация на размерите е от решаващо значение. Полупроводниковият керамичен пръстен може перфектно да си сътрудничи с други компоненти като пластини, електроди, реакционни камери и т.н., за да осигури равномерен поток от технологични газове и течности и равномерно разпределение на физически полета като електрически полета и магнитни полета, като по този начин подобрява еднородността на процеса и повторяемостта в производствения процес на чипове, и спомагане за постигане на голям-мащаб, висока-ефективност и високо-качествено производство на чипове.

Добра електрическа изолация

Полупроводниковите керамични пръстени имат отлични електроизолационни свойства и могат да издържат на високи напрежения без повреда. Тази функция позволява на полупроводниковите керамични пръстени да играят изолираща и изолираща роля в ключови места като електродната система и частите за свързване на веригата на оборудването за производство на чипове, осигурявайки безопасността и стабилността на електрическата система по време на производствения процес на полупроводниците и избягвайки повреда на чипа или производствени инциденти, причинени от електрически проблеми.

Пазарно приложение

Полупроводниковите керамични пръстени се използват предимно в три основни области на производството на интегрални схеми: дифузия/термична обработка, химическо отлагане на пари (CVD) и сухо ецване (Etch).

Процеси на дифузия/окисление/LPCVD

Във високо{0}}температурните пещни тръби се използват керамични пръстени (често наричани „гребла за лодки“ или „лодки“) за хоризонтално или вертикално подреждане и поддържане на множество силициеви пластини. Те трябва да осигурят равномерно нагряване и условия без{2}}замърсяване за всички вафли при температури до 1200 градуса. Керамичните пръстени от алуминиев оксид се използват широко в такива приложения.

Процеси на химическо отлагане на газове (CVD).

В реакционните камери за CVD керамичните пръстени служат като фиксатори или облицовки на камерите, поддържащи пластини и оптимизиращи полетата на потока на реакционния газ. Тяхната равномерна термична проводимост е от решаващо значение за постигане на последователно отлагане на филм. Керамичните пръстени от алуминиев нитрид са широко използвани в тази област поради отличната им топлопроводимост.

Процеси на сухо ецване

Това е едно от най-взискателните приложения за керамични пръстени. В камери за ецване, пълни с високо-енергийна плазма и корозивни газове, керамичните пръстени функционират като пръстени за фокусиране, ограничителни пръстени или облицовки на камери. Основната им роля е да контролират равномерността на разпределението на плазмата, да предпазват металните стени на камерата от корозия и да намаляват замърсяването с частици.Керамични пръстени от итриев оксид (Y₂O₃).се превърнаха в предпочитан избор за усъвършенствани процеси на ецване поради тяхната несравнима устойчивост на флуор{0}}базирана плазмена ерозия.

Други спомагателни употреби

Те могат също така да служат като изолационни компоненти в измервателни или трансферни системи или като ограничителни пръстени в роботиката за обработка на пластини

Производителност на продуктите

Номер	Изпълнение	единица	Алуминиев нитрид
			Алуминиев нитрид
			JC-AN-210	JC-AN-170
1	Плътност	g/cm3	3.32~3.34	3.31~3.33
2	Якост на огъване	MPa	340~360	400~420
3	Якост на счупване	MPa·m1/2	3.35	3.35
4	Диелектрична константа	εr (20 градуса, 1MHz)	8.8~9.0	8.7~8.9
5	твърдост	GPa	12-16
	твърдост	HRC	75-80
6	Обемно съпротивление	Ω·cm (20 градуса)	10 10	10 10
7	Модул на еластичност	GPa	310	320
8	Коефициент на топлинно разширение	×10-6/k	4.8~5.0	4.5~4.7
9	Якост на натиск	MPa	2100	2000
10	Охлузвания	g/cm2	0.01	0.01
11	Топлопроводимост	W/m × k (20 градуса)	200~220	160~180
12	Коефициент на Поасон	/	0.24	0.24
13	Сила на изолация	kv/mm	26~28	30~32
14	температура	степен	2500	2500

контрол на качеството

При стриктно спазване на системата за управление на качеството ISO 9001, ние прилагаме пълен-контрол на качеството на процеса, за да гарантираме последователна доставка на високо-качествени продукти:

• 100% проверка на суровините, гарантираща качество от източника
• Използване на усъвършенствани производствени линии-за горещо пресоване за стабилни и надеждни процеси
• Изчерпателна-система за вътрешно тестване, обхващаща анализ на плътност, твърдост и микроструктура
• Наличие на-официални сертификати от трети страни (включително SGS, CE, ROHS и др., предоставени при поискване)

Ние оставаме ангажирани с непрекъснатото подобряване на нашата система за управление, като предоставяме на клиентите последователна и надеждна гаранция за продукта.

certificate

защо да изберете нас

Ние сме професионален производител и доставчик на различни полупроводникови керамични пръстени. Имаме професионална фабрика за производство на полупроводникови керамични пръстени и екип. В допълнение, ние сме специализирани в полупроводникови керамични пръстени и имаме компания в Съединените щати. Честно казано, ние предоставяме доста професионално и искрено обслужване. Ако имате нужда от високо-качествен полупроводников керамичен пръстен или други производители на керамика и дългосрочни-отвъдморски партньори, моля не се колебайте да се свържете с нас. Поддържаме всякакви персонализации с висока-трудност и ще направим всичко възможно, за да отговорим на вашите нужди.

Ако имате въпроси относно керамичния патронник, можете да щракнете върху нашияСвържете се с насбутон веднага, ще има професионално обслужване на клиенти, което да отговори на вашите въпроси.
Очакваме вашето посещение!